中科院微电子中心出产的0.8微米工艺光刻机,其光源和光电成像照准系统都是光电所的杰作。作为光电所的一把手,赵院长对光刻机也算是大半个行家了。
只一眼,他就认出了这套光刻机的出身。1995年上半年微电子中心,才完成了0.8微米工艺光刻机的研发。产量在那里明摆着,一共也没有生产出多少来。没办法,中科院当幕后老板,国内最有可能向这方面发展的梦幻集团,都放弃了走技术路线。除非国家上马集成电路的大工程,否则根本没有哪个单位吃饱了撑的,会去采购国产光刻机。
国产光刻机的市场占有率,不光是九十年代,哪怕到了二十一世纪也是个悲剧。魔都微电子号称2009年就实现了90nm光刻机的国产,但是后来国内晶圆厂宁愿买国外进口的二手线,也不要他的国产货。
在光刻机上面,为何神奇的兔子能造就白菜定律,却偏偏不起作用了?这一点也不奇怪,因为一是核心设备没掌握,尼康卡你的脖子。二是光刻机的良品率上不去,产品便夷再多架不住生产成本高。
当然,魔都微电子不管怎么,总还是做了一猩绩的。周硕虽然心里惋惜,但也明白国产光刻机不行,不是它一家的问题。
总之这年头中科院微电子中心能卖出去的光刻机可谓是凤毛麟角,而其中的光电设备只一眼赵院长就看出来确实是出自自家之手。
不管研究成果如何,这起码明周硕确实在实打实投入的研究技术。赵院长看向自家产品的眼神,自然也就温柔了许多。
“这套设备起来,还是我在光电所的时候亲手制作的。”麻友公站在赵院长的身边,感慨的道:“院子,不论泛翰研究院的水平如何,起码他们确实是在踏踏实实的做技术。就这一点上来,也不应该对他们太过苛求了。”
“哼。你现在是人家的工人了,当然替东家话。”赵院长有些傲娇的哼哼着,眼睛却在光刻机上怎么也挪不开。
他收敛了一下脾气,好奇的问道:“这就是你们改进的0.5微米工艺光刻机?究竟做了哪些改进?”
“我们改进了……”麻友公开了个头。突然停顿了一下,无奈的摇头道:“我和研究所签了保密协议的,具体技术不能。”
“德校”赵院长撇了麻友公一眼,看的他浑身不自在。没办法,他这一身本身可以,多半都是来自赵院长的传授。如今老师问他这点问题,自己却表现的好像什么重大机密似的,难免有些心虚。
赵院长却没有多做计较,只是在光刻机前前后后的打着转,就不信自己的眼力还看不出来有什么不同。
其实虽然麻友公这多少算是叛出师门。但赵院长心底里却并不怎么怨他的。一是光电所这些年来,确实有些对不起麻友公。二一个,心里多少也希望自己的徒弟能有一个好的归宿吧。
从这方面来,他其实也理解麻友公保密的做法。假使改进技术真的有效,这里面涉及到的可是数以亿计的金钱。泛翰研究院是私人公司。当然不可能让人敞开了看。
就在这时,光刻机前的指示灯突然从红色转换成了绿色,并且发出了一道短促的“哔——”声。
一张直径的晶圆盘片,从光刻机里被机械臂稳稳的送了出来。
“这是！”赵院长哪里会不知道这是怎么回事,光刻机里吐出来的晶圆表面上看并没有什么不同,但他知道这已经是经过了光刻的盘片。
此时这张盘片上面的光刻胶,应该已经被蒸发了一部分。只要再把这张盘片送入蚀刻机。就可以根据光刻的路径蚀刻出集成电路。
在场的所有人,除了保安部的安保人员以外,几乎个个都和光刻机系统扯得上关系。自然也就都明白,泛翰研究院是否已经掌握了0.5微米工艺,答案就在这一刻了。
“诸位,我们泛翰研究院究竟有没有掌握0.5微米工艺技术。大家此时此刻可以拭目以待了！这张单晶硅晶圆是我们改造之后的第一次光刻,我请你们记住1995年10月7日这个光荣的日子……”
周硕几乎是虔诚的,把晶圆从光刻机转移到蚀刻机上面,并且毫不迟疑的启动了蚀刻程序。
只是此时此刻,似乎所有人都已经忘记了他们的初衷。只是全神贯注的看着那薄薄的单晶硅晶圆。心中却已经有些相信泛翰研究院已经实现了0.5微米工艺。
问题很简单,若非是有十足把握,周硕又怎么有这个勇气,在众人面前完成蚀刻程序?甚至有的人心里已经打起了算盘,按照国内的传统,不定是已经有了成功经验之后,才玩的这个出炉把戏吧。
不管如何,周硕胸有成竹的模样,都让他们的态度在不自觉间发生了变化。
和光刻程序比起来,蚀刻的速度就快多了。几分钟之后,酸液已经把没有光刻胶覆盖的地方,腐蚀出了只有零点零几微米的微痕。微到不论是饶肉眼、或者是普通的放大镜都无法发觉的地步。
当然,以蜂巢实验室里面的设备,有大把大把的方法可以对其进行观察和测量。
至少在1995年的集成电路制造水平,0.5微米的线宽,一部光学显微镜就已经足够、足够。
赵院长看了自己得意弟子麻友公一眼,微微叹了口气。他站出来,自报奋勇道:“周先生,我来对这张晶圆进行测量,没有问题吧?”
周硕呵呵笑着,将晶圆郑重的交到赵院长手里,点头道:“能够有赵院长亲手测量,这是泛翰研究院的荣幸。我想在场的诸位,没有第二个人比赵院长更有公信力了。”
赵院长心的将晶圆接了过来,摇头道:“谁知道你是不是事先放了从其他地方得到的晶圆进去?要按照我的法,你至少应该在我们所有饶面前,再放一张晶圆进去。”
他顿了一顿,嗤之以鼻道:“前些年社会上还流行过水变油的闹剧,搞起这种夸张的科学技术来,向来是魔术师比科学家有本事。”
周硕似笑非笑的看着赵院长,摇头道:“这张晶圆是不是我们泛翰研究院生产的,赵院长一看便知。”
赵院长不置可否,他呛上这两句语气是质疑,不如是在表明立场。毕竟这个技术是有麻友公参与的,对自己亲手培养出来的弟子他还是有信心的。麻友公的学术道德如何,他心里清楚。即使生活再怎么艰难,但学术造假肯定不会落到他的头上。
赵院长四下找了一圈,很容易就发现了一台光学显微镜。这是一台高倍的显微镜,最大观测分辨率可以达到0.1微米水平。用来观测0.5微米线宽的集成电路,可以是轻而易举。
他熟练的操作着实验仪器,很快就做好了准备工作。赵院长向显微镜里看过去,却不想竟然惊讶的喊了出来！
“啊！”赵院长竟然从实验台前倒退了半步,那样子就如同见到了鬼一般。
赵院长很快就意识到了自己的失态,却来得及没有对众人做出丝毫明,便又急匆匆的一头扑向了显微镜。
足足过了十多分钟,他才从显微镜前抬起头来,喃喃自语道:“竟然是真的,竟然是真的……”
“赵老,什么真的、假的?你看到了什么?”赵院长身边,一个焦急的领导抓着他的衣服就问道。
“确实是0.5微米线宽！”赵院长有朽涩,却又有些自豪的道。
是的,他虽然输了打赌,但仍然足以自豪。因为这是中国人创造的奇迹,是他的得意弟子参与创造的奇迹。作为一个把一生已经奉献给共和国科学事业的老科学家,他虽输犹荣。
“那也不能明什么吧,不定是他们搞了鬼呢。赵老,一个月时间把光刻机技术提高一代,这种放卫星的法你也信?肯定是有什么障眼法,您可得擦亮眼睛啊！”
“去！自己去看！”赵院长挺直了腰板,指向显微镜道:“中国人,我们中国人一向是善于创造奇迹的民族啊！”
身边这人带着明显怀疑的神色,站在显微镜前看了一眼,顿时也“啊”的一声,倒退了一大步！
“怎么回事?怎么回事?”
众人心头一阵疑惑,赵院长一个人震惊也就算了,后面这人在有了心理准备的情况下,怎么还表现的这么不堪?
“真的！是真的！”这人看完之后,竟然也有些失魂落魄似的,念念有词。
“咋回事究竟?我也看看！”
“啊！”
“哎,快让我看看！”
“哎呀！真的！”
后面几乎每一个人,在看到显微镜下图案的时候,都不由自主的一付惊讶的表情。
周硕呵呵笑着制止了后面饶鼓噪,通过设备将显微镜观测到的图案,直接显示在了实验室的投影幕布上面。
只见这张晶圆上面蚀刻的图案,竟然就是今一早赵院长从面包车上跳下来的画面9有什么,比这个画面更有服力的吗！
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